Love波传感器及其质量灵敏度测试

胡友旺; 史建亮; 贾宏光; 吴一辉

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为实现流体领域的液相传感，设计并制作了基于36°-YX LiTaO3作为压电衬底、PMMA薄膜作为波导层的Love波传感器；通过微电流电铸实验测量得到Love波传感器的质量灵敏度为-2．281g-1cm2．分析了波导层厚度、器件温度和电铸电极的厚度三个因素对灵敏度的影响，为进一步提高灵敏度提供了参考．

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来源
《传感技术学报》|2006年第5b期|P.2126-21292134|共5页
作者
胡友旺; 史建亮; 贾宏光; 吴一辉;
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作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033;

中国科学院研究生院,北京100039;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TP212.1;
关键词
Love波传感器; LiTaO3; PMMA; 灵敏度;

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