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基于自旋阀的GMR线性传感器的制作

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摘要

利用退火技术制作出自旋阀型GMR线性传感器，传感器矫顽力低于0．01Oe，具有良好的线性，电阻条的宽度与传感器器线性范围和灵敏度直接相关，随着条宽减小，传感器器的线性范围增加而灵敏度降低，实验和理论计算的结果一致．

著录项

来源
《传感技术学报》|2006年第5b期|P.2065-20672071|共4页
作者
李伟; 刘华瑞; 刘鹏; 任天令; 刘理天;
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作者单位

清华大学微电子学研究所,北京100084;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TP212.13;
关键词
自旋阀; 巨磁电阻; 线性传感器;

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