电容式微加速度传感器信号处理电路的设计

摘要

介绍了一种新型的电容式微加速度传感器的信号处理电路，可以用来检测电容式微加速度传感器敏感的加速度．该电路采用电荷敏感原理，能较好地消除寄生电容的影响．同时电路工作于闭环模式，具有稳定的工作特性．实验结果表明该电路不仅能很好的消除外部环境噪声的干扰，同时提高了传感器的整体性能．