三轴线加速度计E膜片弹性体应力应变解析法研究

摘要

基于E型膜片已设计出一种三轴线加速度计;此E型膜片的敏感弹性部分为圆环平膜片,对其应力应变特性的分析至关重要.考虑到E膜片的实际尺寸及测量时其变形较小,将E膜片变形作为薄板小挠度变形来对待,对z、x(y)各轴向加速度载荷az、ax(az)作用下,膜片的边界条件进行分析;并参考圆薄板轴对称/反轴对称变形的弹性曲面微分方程及通解,获得E膜片的应力应变解析解.