图像处理技术在单晶硅生产监测中的应用研究

摘要

以半导体材料单晶生长为背景,利用图像处理与分析技术对单晶生产过程进行监测研究.晶体生长是具有相变与移动边界的复杂分布参数系统,但是单晶炉所采用的监测控制手段仍然是相当基本的,以至阻碍了高纯度、高均匀性、高完整性和大直径半导体单晶材料的生产.在对现场摄取的单晶生长图像序列进行边缘检测和二值化等预处理的基础上,优化设计了自动阈值分割算法,有效地提取了几何特征量,直观给出了单晶生长固体--液体界面的图像信息.对计算机视觉检测和分析应用于单晶生产作了有益的探索.