双敏传感器稳定性的研究

摘要

双敏传感器是一种新型的传感器.在其研究过程中,传感器的稳定性是一个急需解决的难题.实验中在原有的敏感材料基础上添加Nb2O5材料.对所做成的元件进行两年多的性能参数的跟踪测试.测试表明元件的稳定性较好.通过XRD,SEM,TEM实验对敏感材料进行微观分析.表明掺杂后的敏感材料在烧结后形成固溶体及部分固溶体状态.材料的固溶状态使元件的气、湿敏性能保持在稳定状态.