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力矩器磁场对微小加速度计非线性误差的影响

     

摘要

挠性摆式微小加速度计在导航系统中有广阔的应用前景,其非线性误差主要由力矩器标度因数的非线性所造成,其中力矩器磁场对其有重要影响.利用ANSYS Maxwell对力矩器磁场分布的均匀性进行了仿真,分析了力矩器加工和装配产生的偏差对于磁场均匀性的影响规律.结果表明,力矩器组件磁钢和上导磁帽对磁场影响较大.保证磁钢厚度加工偏差在±10μm以内,相对标准偏差CV值的相对误差小于5.4%.控制上导磁帽高度的加工偏差在±6μm以内,CV值的相对误差可小于4.4%.力矩器装配的同轴度偏差对于磁场均匀性及线圈受力影响较小,控制在±8μm以内即可.上述研究结果为指导加速度生产和装配工艺,提高其稳定性提供依据.

著录项

  • 来源
    《传感技术学报》|2018年第7期|993-997|共5页
  • 作者单位

    大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室,辽宁大连116024;

    大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连116024;

    大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室,辽宁大连116024;

    大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室,辽宁大连116024;

    大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室,辽宁大连116024;

    大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁大连116024;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类 光学仪器;
  • 关键词

    微小加速度计; 力矩器; 磁场均匀性; 非线性误差;

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