2-氨基-5-巯基-1,3,4-噻二唑缓蚀剂结构的密度泛函计算

摘要

采用密度泛函量子化学计算方法,获得了在B3LYP/6-311++G(2d)(5D,7F)理论水平上2-氨基-5-巯基-1,3,4-噻二唑(简称AMT)4种互变异构体的平衡几何构型、能量和电荷分布,证实了4种互变异构体的所有原子处于同一平面,且有一种异构体最稳定.研究结果表明:AMT4种异构体中的环骨架具有芳香性,AMTc与Cu形成的缓蚀膜层是Cu(Ⅰ)与AMTc中的7N和2S原子分别形成共价键和配位键相互交错而成.计算了AMT4种异构体的谐振频率和红外光谱强度.