含硼、磷添加剂对电沉积CoNiFe软磁薄膜的影响（英文）

摘要

采用循环伏安法制备CoNiFe、CoNiFeB和CoNiFeP软磁薄膜。采用SEM、EDS和XRD进行薄膜形貌、成分及相组成分析,应用振动样品磁强计（VSM）测量其软磁性能,并采用电化学阻抗谱（EIS）及极化曲线研究其腐蚀阻力。结果表明,电沉积CoNiFe、CoNiFeB和CoNiFeP软磁薄膜为晶态和非晶态混合体,含硼、磷添加剂可促进非晶相的形成;CoNiFe和CoNiFeB具有纳米结构;含硼添加剂可提高薄膜的致密度和阻力,并使矫顽力从851.48A/m降低至604.79A/m,而磁饱和强度基本不变。含磷添加剂可增加薄膜粒子的尺寸并降低其耐蚀性,并使CoNiFeP薄膜的矫顽力增加至12485.79A/m,磁饱和强度大幅度降低至1.25T。