三道光刻TFT制造技术

摘要

LG菲利蒲公司开发了三道光刻TFT制造技术，而现在的TFT制作普遍采用四～五道光刺技术。随着光刻技术的减化，不仅压缩了工艺流程，降低成本，而且提高生产能力减化工艺也是TFT企业竞争的主要手段之一，因而LG菲利蒲公司靠三道光刻工艺技术将提高TFT—LCD产品的竞争力。