TFT-LCD一种绿Mura机理分析和改善

摘要

色斑不良(Mura)是薄膜晶体管液晶显示器常见的显示缺陷,严重影响产品品质.色斑不良表现形式多样,原因也各不相同.本文针对8.5世代线发生于81.28 cm(32 in)产品上的一种固定位置发绿条状Mura,通过实物解析、设备排查和不同工艺条件试验,对不良机理进行研究.实验结果表明,81.28 cm(32 in)产品彩膜绿像素使用的G-1型光刻胶受光照后性质发生变化是导致该不良的直接原因.进一步确认不良的根本原因为G-1型光刻胶中颜料分子锌酞菁化合物在600～700 nm光波处存在吸收峰,被光照后吸收光子生成自由载流子,形成附加电场,导致该区域液晶偏转异常,显示出宏观绿Mura.从阻隔光照和减少光生载流子产生数量两个方向入手,通过添加高敏感度光起始剂和使用颜色浓度更高的颜料分子,形成两种改善材料,量产导入后,均成功将不良发生率由约20％降低为0,有效提升了产品品质.