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ITO透明导电薄膜的制备及光电特性研究

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摘要

以氯化铟和氯化锡为前驱物,采用溶胶-凝胶法在玻璃基片上制备了ITO薄膜.研究了掺锡浓度、热处理温度和热处理时间等工艺条件对ITO薄膜光电特性的影响.制备的ITO薄膜的方阻为300Ω/□,可见光平均透过率为80%,电阻率为4×10-3Ω·cm,其光电特性已达到了TN-LCD透明电极的要求.

著录项

来源
《液晶与显示》|2004年第5期|376-379|共4页
作者
马颖; 张方辉; 靳宝安; 牟强; 袁桃利;
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作者单位

陕西科技大学,电气与电子工程学院,陕西,咸阳,712081;

陕西科技大学,电气与电子工程学院,陕西,咸阳,712081;

陕西科技大学,电气与电子工程学院,陕西,咸阳,712081;

陕西科技大学,电气与电子工程学院,陕西,咸阳,712081;

陕西科技大学,电气与电子工程学院,陕西,咸阳,712081;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的性质;
关键词
ITO薄膜; 溶胶-凝胶法; 方阻; 透光率; 液晶显示器;
入库时间 2022-08-18 08:58:52

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