生长温度和化学剂量比对MgZnO合金薄膜相结构的影响

吴春霞; 申德振; 范希武

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生长温度和化学剂量比对MgZnO合金薄膜相结构的影响

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利用等离子辅助分子束外延技术,在蓝宝石c-平面上外延生长了ZnO单晶薄膜.原位反射式高能电子衍射结果表明,在650℃时样品为平整的表面.但X射线衍射测量表明,在此温度下添加Mg源生长的MgxZn1-xO合金薄膜,随Mg量的增加很快经历了六角相-混合相-立方相的相结构转变,这与扫描电子显微照片的直观结果相对应.分析指出该结果是由生长温度和Ⅱ、Ⅵ族元素的化学剂量比共同决定的.

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来源
《液晶与显示》|2008年第6期|671-675|共5页
作者
吴春霞; 申德振; 范希武;
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作者单位

中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033;

江苏大学光子制造科学中心,江苏,镇江,212013;

中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033;

中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类发光学;
关键词
等离子辅助分子束外延; MgZnO合金; 原位反射式高能电子衍射; X射线光电子能谱;
入库时间 2022-08-18 08:58:37

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