辉光放电光谱法在深度分析上的应用现状

摘要

本文简单地介绍了辉光放电光谱法(GI-OES)的基本原理.分别对深度分析的定量方式、放电方式、应用领域和相关标准进行了详细地阐述.重点描述了商品化仪器中使用的SIMR深度分析定量方法.分别对三种放电方式(如直流、射频和脉冲)在深度分析中的特点进行了介绍.综述了GD-OES在金属镀层、复杂涂镀层、纳米级薄膜和样品制备领域的具体应用.最后,介绍了GD-OES在深度分析方面的标准.