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Depth Profiling of Metallic Coatings Evaluated from Spatially-resolved Measurement in Glow Discharge Optical Emission Spectrometry

机译：在辉光放电光发射光谱法中从空间分辨测量评估的金属涂层的深度分析

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作者
Yoshitaka ZENITANI; Fuyuki SAKAMOTO; Kazuaki WAGATSUMA;
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作者单位

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年度 2009
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1. Quantitative depth profile analysis of metallic coatings by pulsed radiofrequency glow discharge optical emission spectrometry [J] . Pascal Sanchez, Beatriz Fernandez, Armando Menendez Analytica chimica acta . 2011,第1a2期

机译：脉冲射频辉光放电光发射光谱法定量分析金属涂层的深度轮廓
2. Helium depth profile measurements within tungsten coatings by using Glow Discharge Optical Emission Spectrometry (GDOES) [J] . Grigore E., Ruset C., Firdaouss M., Surface & Coatings Technology . 2019,第期

机译：通过使用辉光放电光发射光谱法（GDOES）螺旋涂层内的氦深度测量
3. Multilayer thin-film coatings based on chromium nitride and aluminum nitride: Comparative depth profiling by secondary ion mass spectrometry and glow-discharge optical emission spectrometry [J] . Tolstoguzov A.B. Journal of analytical chemistry . 2010,第13期

机译：基于氮化铬和氮化铝的多层薄膜涂层：二次离子质谱和辉光放电光发射光谱的深度比较
4. Glow discharge optical emission spectrometry (GD-OES): an alternative technique for depth profiling-investigation of surface properties from the nanometer to the micrometer scale [C] . Philippe Hunault Annual ASM Heat Treating Society Conference . 2001

机译：发光放电光发射光谱法（GD-OES）：深度分析的替代技术，用于从纳米到千分尺刻度的表面性质
5. Applications of radio frequency glow discharge optical emission spectrometry on bulk and depth resolved analysis of solid materials. [D] . Luesaiwong, Wandee. 2003

机译：射频辉光放电光发射光谱法在固体物质的体积和深度分辨分析中的应用。
6. Absolute Spatially- and Temporally-Resolved Optical Emission Measurements of rf Glow Discharges in Argon [O] . S. Djurović, J. R. Roberts, M. A. Sobolewski, 1993

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7. Improvement in Signal Response of In-depth Elemental Profiles in Radio-frequency Glow Discharge Optical Emission Spectrometry by Using a Bias-current Introduction Method [O] . Kenta Sakane, Kazuaki Wagatsuma 2017

机译：通过使用偏置电流介绍方法改进射频辉光放电光发射光谱法中深入元素谱的信号响应

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