金刚石膜的厚度及背表面过渡层对热导率的影响

摘要

采用微波等离子体化学气相沉积（ＭＷＰＣＶＤ）方法制备金刚石膜，研究了金刚石膜的厚度以及生长初期的ＳｉＣ过渡层对其热导率的影响，给出了膜厚和背表面ＳｉＣ过渡层减薄厚度与金刚石膜热导率的关系。