首页> 中文期刊>电子器件 >PSG膜钝化技术的最佳设计

PSG膜钝化技术的最佳设计

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

半导体表面钝化方法很多,但使用最广泛的是PSG膜.本文将着重讨论PSG膜钝化机理、膜的厚度及其磷含量的设计和控制.

著录项

来源
《电子器件》|1991年第1期|51-5450|共5页
作者
张佐兰;
展开▼
作者单位

无;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 TN304.055;
关键词
半导体; 表面纯化; PSG膜; 磷含量;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. PSG钝化膜密化工艺研究 [J] . 王继春 ,史保华 . 半导体技术 . 1992,第6期
2. 恒电位－恒电流瞬态响应技术研究钝化膜多层结构──Ⅱ．2．5mol／LH_2SO_4溶液中2205和316L不锈钢钝化膜的结构与生长规律的研究 [J] . 唐子龙 ,宋诗哲 . 金属学报 . 1995,第2期
3. 恒电位－恒电流瞬态响应技术研究钝化膜多层结构──Ⅰ．多层结构钝化膜的P－G瞬态响应特征 [J] . 宋诗哲 ,唐子龙 . 金属学报 . 1995,第2期
4. 恒电位──恒电流瞬态响应技术研究钝化膜多层结构Ⅲ．氯化钠溶液中2205和316L不锈钢钝化膜稳定性的研究 [J] . 唐子龙 ,宋诗哲 ,康翠荣 . 金属学报 . 1995,第8期
5. 背钝化太阳电池背面钝化膜与金属化技术的匹配研究 [J] . 葛剑 ,陆红艳 ,乔琦 . 太阳能 . 2014,第005期
6. 类金刚石膜作为HgCdTe红外探测材料钝化膜和增透膜的研究 [C] . 居建华 ,夏义本 . 全国化合物半导体、微波器件和光电器件学术会议 . 1998
7. 热氧化生长SiO2钝化膜与双层减反射膜技术的研究 [A] . 叶发敏 . 2010

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号