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真空微电子学中的场致发射阴极制备

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摘要

近年来,随着微机械加工技术的不断发展,人们对小功率的场致发射阴极的研究日趋活跃,本文介绍了近年来国内外对场致发射阴极的制备,电学特性及应用方面的研究进展情况,并说明该技术的发展必将取得更广泛的应用.

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来源
《电子器件》|1993年第1期|39-43|共5页
作者
秦明; 黄庆安;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类电真空器件材料;
关键词
真空微电子学; 场致发射阴极; 制备;
入库时间 2023-07-25 14:26:31

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