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扫描探针显微镜在纳米加工中的应用

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摘要

扫描探针显微镜不仅能对材料表面形貌进行原子级观测,还能够对单个的分子、原子及纳米粒子进行操纵.本文综述了扫描探针显微镜在纳米加工中对自组装单层膜的扫描探针刻蚀以及"蘸写笔"两方面的应用情况.

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来源
《分析化学》 |2003年第9期|1127-1130|共4页
作者
孙旭平; 张柏林; 汪尔康;
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作者单位

中国科学院长春应用化学研究所电分析化学国家重点实验室,长春,130022;

中国科学院长春应用化学研究所电分析化学国家重点实验室,长春,130022;

中国科学院长春应用化学研究所电分析化学国家重点实验室,长春,130022;

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正文语种 chi
中图分类化学;
关键词
扫描探针显微镜; 纳米加工; 应用; 评述;

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