辉光放电质谱法在无机非金属材料分析中的应用

摘要

辉光放电质谱法(GDMS)作为一种固体样品直接分析技术,已广泛应用于金属、半导体等材料的痕量和超痕量杂质分析.近年来,随着制样方法和离子源装置的改进, GDMS同样也能很好地应用于玻璃、陶瓷、氧化物粉末等非导体材料的成分分析.简介了GDMS的基本原理和分析特点,概述了GDMS在无机非金属材料分析的方法以及应用情况.