基于微机械电子系统的电化学电极阵列的研制

摘要

为了克服传统电化学电极反应液需要量较大、预处理繁琐和耗时的不足,本研究通过腐蚀、键合、光刻、氧化、扩散和溅射等工艺在75 mm×25 mm光学玻片上制备了基于微机械电子系统的电化学电极阵列.该电极阵列含有16个电极单元,每个单元之间的差异性≤3.7％；电极表面Rct=28Ω,预处理时间1 min；反应液量1～50 μL.用此电极阵列构建的生物传感器实现了对大肠杆菌特异性靶分子序列的检测,检测下限达到1×10-8 mol/L.结果表明,此电化学电极阵列能满足多通道微量检测的需求,在其表面可方便地进行生物功能化修饰,应用范围广,实用性强.