二维光纤列阵接口器件及其在光互连网络模块中的应用

摘要

提出了一种适用于光电子集成ＣＭＯＳ－ＳＥＥＤ灵巧像素光互连网络的二维光纤束列阵结构和制作方法，采用精密加工的光纤列阵定位槽和光学监控系统，成功地研制出３２×２的单模和多模光纤列阵Ｉ／Ｏ接口器件，光纤列阵层内及层间位移误差均小于２μｍ，角向差小于０．０２°，实验中已将二维光纤列阵Ｉ／Ｏ接口器件用于１６×１６ＣＭＯＳ－ＳＥＥＤ灵巧像素光电子集成Ｃｒｏｓｓｂａｒ光互连模块中，实验结果表明，该光纤束列阵Ｉ