亚微米超精密车床振动的神经网络控制

摘要

提出了以空气弹簧作为被动隔振元件、神经网络控制的电磁作动器作为主动隔振元件的隔振系统,分析了以相对位移、速度及加速度和绝对位移、速度及加速度等作为反馈变量条件下的系统振动传递率,证明了主、被动隔振相结合的隔振系统用于超精密机床的有效性.