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基于纳米运动平台的原子力显微镜开发

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摘要

采用一种无耦合、三轴精确定位的纳米运动平台作为扫描器,研制了一种新型原子力显微镜(AFM).该AFM有效消除了通常使用的单管式压电陶瓷扫描器扫描过程中运动耦合产生的两种结构误差--交叉耦合误差和扫描范围误差,极大提高了纳米测量及操作的精度.

著录项

来源
《高技术通讯》|2007年第3期|268-273|共6页
作者
焦念东; 王越超; 席宁; 董再励;
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作者单位

中国科学院沈阳自动化研究所,沈阳,110016;

中国科学院研究生院,北京,110039;

中国科学院沈阳自动化研究所,沈阳,110016;

中国科学院沈阳自动化研究所,沈阳,110016;

美国密西根州立大学电子与计算机工程系,兰辛,48824;

中国科学院沈阳自动化研究所,沈阳,110016;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类终端设备;
关键词
原子力显微镜; 运动耦合; 纳米运动平台; AFM力曲线;

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