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李旭;
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
软X射线; 微通道板; 极紫外波段; 成像系统;
机译:精密成像多层光学器件,用于软X射线和极紫外波段
机译:熔融石英基板的离子束抛光,用于软X射线和极紫外光学成像
机译:适用于软X射线和极紫外光的精密成像多层光学器件
机译:基于径向阵列方孔微通道板的X射线和EUV成像性能研究
机译:开发用于飞秒/阿秒光源的科学研究用的极紫外和软X射线多层光学器件。
机译:微通道板成像光子计数器用于紫外线通过NIR检测具有高时间分辨率
机译:基于微通道板探测器的图像增强器的快速切向观看软X射线成像系统
机译:紫外探测器微通道板成像特性的高空间分辨率研究
机译:用于反射光学元件,特别是用于软X射线和极紫外波长范围的清洁方法以及用于极紫外光刻设备的清洁方法包括加热反射光学元件
机译:极紫外光或软X射线范围的短波长光源装置,以及产生极紫外光或软X射线范围的短波长光源的方法
机译:使用圆柱形压缩弹簧来维持微通道板位置的软X射线成像设备
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