用α-RBS法检测球轴承滚道上润滑薄膜的组成与厚度

摘要

利用串列粒子加速器，以能量为3.00MeV的α粒子（4He2+）束作探测束，用背散射法（RBS）检测了固体润滑球轴承经过运行实验后其滚道表面MoS2基共溅射薄膜的化学组成和厚度，考察了摩擦对它们的影响：结果表明：RBS技术能够无损地测得球轴承滚道表面薄膜的化学组成和厚度的定量结果，是球轴承检测及其摩擦学研究的一种可行方法。