基于插卡式载具小型芯片自动喷砂清洗设备的研究

摘要

【目的】目前芯片引脚喷砂清洗设备在石英砂的利用率、喷砂清洗的效率方面还存在不足,因此,提高封装后的小型芯片的清洗效率和清洗质量,保证芯片引脚不受到冲击显得十分重要。【方法】笔者通过对一种小型芯片清洗设备进行研究,利用一种插卡式载具摆放小型芯片,采用阵列式的高压喷头,形成喷头与芯片平面十字交叉的相对运动,对芯片表面进行喷砂清洗。【结果】实现了砂水混合物的回流和重新使用,节约了生产成本;采用双重阵列式的多喷嘴布置,保证了芯片清洗的效率与效果;通过喷嘴往复运动与芯片的定向移动,在X-Y平面内实现了更大范围的清洗效果;通过对芯片在载具上的创新性设计,既实现了对芯片表面的清洗,也保证了芯片引脚不变形、不错位。【结论】该自动喷砂清洗设备在实际生产中具有操作方便、生产效率高的特点,极大地提高了喷砂清洗的自动化水平,保证了芯片喷砂处理后的表面质量。