溶胶-凝胶法原位制备PI/SiO2杂化薄膜的结构及形态研究

摘要

采用溶胶-凝胶法在聚酰胺酸溶液中引入二氧化硅(SiO2)溶胶,并经热酰亚胺化后制备了聚酰亚胺/二氧化硅(PI/SiO2)杂化薄膜.采用X-射线能谱、红外光谱、X-射线衍射和原子力显微镜等方法,研究了SiO2含量对杂化薄膜元素组成、化学结构、晶体结构及表面形貌的影响.结果表明,在亚胺化的过程中,PI薄膜中原位形成了非晶态的无机硅烷网络;生成的SiO2颗粒粒径随其含量的增加而增大,在SiO2含量低于5%(质量分数,下同)时,其粒径不超过50 nm,当其含量达到7%时,颗粒的粒径急增至200 nm,表明颗粒发生了团聚.