在溶胶凝胶法制得的SrTiO3薄膜电容器上阳极化氧化铝的影响

摘要

紧密的 Al2O3薄膜是经过铝电极下的阳极化过程制造的，它作为溶胶凝胶法制得的SrTiO3薄膜电容器的一层绝缘层。与没有阳极化处理过的薄膜电容器相比，有阳极化处理过的氧化铝层的薄膜电容器展现出更低的泄漏电流和更稳定的介电常数。铝电极在部分阳极化后相当于薄膜电容器中的惰性电极。