用ECR多极场等离子体在室温基片上制备的具有C轴取向的ZnO薄膜

摘要

使用2.45GHz,TE₁₀模式的微波在由Nd-Fe-B永久磁钢形成的多极磁场中产生了E-CRM等离子体。利用这种等离子体通过反应溅射法在室温基片上制备了具有C轴取向的ZnO薄膜。等离子体的轴向分布依赖于等离子体腔室中的磁场形态。XRD,TEM和SEM的分析表明,淀积的ZnO薄膜的晶粒尺寸为nm量级,致密而又平滑,具有良好的C轴取向度。