硅衬底氮化镓基蓝光LED发光特性研究

摘要

氮化镓在照明设备内应用,具有较高发光效率,进而具有良好发展前景.现阶段,其中相对成熟工艺就是单晶硅,同时单晶硅价格相对低廉,可以生产大尺寸半导体材料.近几年,研究人员致力于在硅衬底上应用氮化镓薄膜,并且有关工艺已经较为成熟.本文在对硅衬底氮化镓基蓝光LED发光特性分析研究,就是希望可以为降低LED应用经济成本提供提供一定依据.