钼粉粒径对钼钛薄膜性能的影响

摘要

将钼钛合金靶材在同一溅射设备、同一溅射工艺下进行磁控溅射实验,研究不同粒径钼粉原料对靶材溅射薄膜性能的影响。通过XRD、SEM和直流四探针法分析结果表明,颗粒大小均匀、无团聚的大粒径钼粉制备出的靶材,其溅射薄膜性能更优异。