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0.6328μmHe-Ne激光器小数重合法大尺寸绝对距离测量方法的研究

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本文介绍了以小数重合法为基础的大尺寸绝对距离干涉测长的原理,并着重分析了两种测量方法:外差法和拍波法.

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来源
《中国测试》 |2003年第6期|16-17,15|共3页
作者
周秀云;
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作者单位

电子科技大学自动化学院,成都,610054;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类计量学;
关键词
大尺寸绝对距离测量; 小数重合法; 小数级次; 外差法; 拍波法;

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