基于白光光谱仪的绝对距离测量方法的研究

王留留; 刘志健; 刘文其; 何胖泮

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基于白光光谱仪的绝对距离测量方法的研究

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本文介绍利用一种白光光谱仪测量绝对距离和位移的方法.利用迈克耳逊干涉结构,使用光谱仪S2000,进行光谱分析,在知道光学元件的群折射率和厚度的情况下,利用均衡波长的概念就可以得出绝对距离.该方法不需要应用相位重现程序,其测量范围大大超过传统白光干涉技术的测量范围,为绝对距离的测量提供一些详尽的参考.

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来源
《仪器仪表用户》 |2009年第4期|6-7|共2页
作者
王留留; 刘志健; 刘文其; 何胖泮;
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作者单位

合肥工业大学,仪器科学与光电工程学院,合肥,230009;

合肥工业大学,仪器科学与光电工程学院,合肥,230009;

合肥工业大学,仪器科学与光电工程学院,合肥,230009;

合肥工业大学,仪器科学与光电工程学院,合肥,230009;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TH744.3;
关键词
绝对距离测量; 均衡波长; 白光; 光谱仪;

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