二氧化硅微米棒阵列的制备及发光性能研究

摘要

二氧化硅是一种良好的发光半导体材料，被广泛应用于光学器件、传感器、电子元件等领域。本文利用热蒸发方法，在无催化荆条件下，通过气-固（VS）生长机制制备出非晶二氧化硅微米棒阵列。利用扫描电镜（FE—SEM）、透射电镜（TEM）和光致发光谱（PL）等测试手段对产物的形貌、微观结构和光学性能进行了测试分析及研究。