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钟培全;
成都虹波实业股份有限公司!成都市610051;
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机译:以及其背板组件-其溅射靶的制造方法以及由难熔金属硼化物难熔金属合金,难熔金属硅化物,难熔金属碳化物或难熔金属氮化物的烧结性差的组成的靶材的制造方法
机译:以及其背板组件及其溅射靶的制造方法以及由难熔金属硼化物难熔金属合金,难熔金属硅化物,难熔金属碳化物或难熔金属氮化物的烧结性差的靶构成的靶。
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