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生产450 mm(18英寸)硅晶圆的经济可行性——来自硅晶圆材料供应厂商的呼声

         

摘要

@@ 1 前言根据历史数据分析,晶圆尺寸的倍增转换周期大约为11年.第一条200mm生产线投人生产的时间是在1990年.而第一条300 mm生产线的投产时间是在2001年,相隔大约为11年.

著录项

  • 来源
    《中国集成电路》 |2008年第2期|74-82|共9页
  • 作者

    钟信;

  • 作者单位
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类
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