提高光栅测量系统精度的新方法

摘要

本文在总结分析现有光栅精度理论与实践成果基础上,对影响光栅测量系统精度的因素进行了全面系统的分析,并进一步对各项误差源所引起的误差机理和建模作了介绍与论证,并首次提出光栅系统的4类15项误差。