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激光多普勒干涉仪测量物体位移

         

摘要

<正> 1.仪器简介激光多普勒干涉仪(LDI)是一种测量非光滑表面物体位移的仪器,它集中了一些典型的技术,并将其有机地结合在一起,能够随时对物体位移的幅度及方向进行测量,并且具有很高的分辨率。由于采用了大批量生产的光学

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