机译:使用激光干涉仪测量被测物体表面的位移
机译:使用激光干涉仪测量被测物体表面的位移
机译:用激光干涉仪照亮被测物体的位移的方法的特性的实验研究
机译:测量被测物体表面小的线性和角位移的统一方法
机译:使用外差干涉仪分析在粗糙表面上衍射的光以测量面内位移
机译:用于测量薄膜厚度,表面粗糙度和表面图形的三束剪切干涉仪。
机译:用于工业计量的位移激光干涉仪系统的校准
机译:通过测量控制对象表面的位移来确定激光干涉仪的分束器表面上的电磁场
机译:具有亚埃精度的位移测量激光外差干涉仪