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使用激光干涉仪的直线度、超高分辨率系统

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＜正＞进行机械加工时,由于磨损等原因,使运动面的运动发生较多的误差。要提高直线运动技术的加工精度,也是最基本的重要技术,本文就激光干涉仪（英国线性仪器公司制（LIL3000））与二极管组合的高精度直线度测量系

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来源
《中国检验检测》 |1987年第4期|55-5654|共2页
作者
高木信雄; 张耀宏;
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