影响RTS-8型四探针测试仪测量精度的主要因素

摘要

电阻率是描述半导体材料性能的重要参数之一,四探针技术是测量半导体材料电阻率的主要手段,并且已经广泛地应用于半导体制造工艺及检测。文章重点讨论了直线四探针技术的基本原理和测量方法,对RTS-8型四探针测试仪在使用过程中出现的一些非理想因素进行了深入讨论,分析引起测量误差的主要因素,找出影响测量精度的主要原因,探寻提高测量精度的方法。