多晶硅生产过程中氢气综合回收利用研究

摘要

在目前多晶硅生产工艺中，改良西门子法是主流生产工艺。但改良西门子法中还是存在多晶硅生产成本较高的情况，尤其是在目前多晶硅市场低迷的情况下，如何降低生产成本成为众多多晶硅生产厂家的首要任务。通过对改良西门子法研究发现，各生产工序的氢气浪费现象十分严重，大量氢气通过碱液淋洗后放空，既造成了氢气无端浪费，又增加后续处理工序建造费用，还增加了人力、物力维护成本。本文将各生产工序中的淋洗排放氢气通过回收处理后继续利用，减少了氢气浪费，降低了多晶硅生产投资成本和后期生产运营成本。