热力学在多晶硅生产工艺中的应用

摘要

随着科学技术的飞速发展,多晶硅的应用越来越多,为了提高多晶硅的生产质量.基于Gibbs+自由能最小原理,采用西门子法生产多晶硅的闭环工艺,并对反应系统中的进行的热力学进行分析,针对不同环境下化学反应系统进行探讨.文章将主要针对多晶硅生产工艺中的热力学进行分析,从而不断的提高多晶硅生产效率.