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横河CS3000控制系统在多晶硅生产中的应用

         

摘要

本文简述了改良西门子法生产多晶硅的工艺流程,结合横河CS3000控制系统的特点,详细介绍了2000吨/年多晶硅生产线DCS控制系统的总体设计方案及硬件和软件配置等.该系统自投运以来,运行很稳定、可靠,给生产企业带来了良好的经济效益.

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