氟化钠吸附氟化氢最佳工艺参数测定

摘要

氟化钠（NaP）是一种很好的吸附剂，有着吸附氟化氢（HF）的特性，在电子气体的生产中经常被用来吸附HF，在含氟电子气体的纯化工艺中有着极为重要的应用。本文通过正交实验测定氟化钠在不同的吸附条件下吸附氟化氢杂质的吸附效果，并对实验结果进行方差分析，并评价了各因素对吸附效果的影响。实验表明：NaF对HF有很好的吸附能力，在最佳的操作条件下，几乎可实现完全吸附；适合的吸附温度为20℃-80℃；吸附率随气体流量的增大而降低；压力对吸附率的影响不明显．