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氧化锌压电薄膜的表面波传感器的设计原理初探

     

摘要

本文主要介绍氧化锌压电薄膜的表面波传感器的设计原理与实验研究,为氧化锌压电薄膜声表面波传感器的研究提供理论参考与应用指导.

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