基于激光三角法的CCD平板厚度测量系统设计

摘要

本文基于光学原理，充分利用斜射法可接受全部反射光和散射光的特点，针对光滑微小厚度变化量的平薄板提出了一种具有精度高、线性度好、动态响应快的在线激光非接触测厚方法，并通过系统软硬件的设计，自动完成了对平薄板厚度高准确度测量。