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潘晋; 徐丰仁;
不详;
真空平衡型; 气体轴承; 有限元分析;
机译:真空兼容的静压气体轴承-使用静压气体轴承和气动执行器的半导体暴露装置
机译:真空兼容静压气体轴承半导体曝光装置,采用静压气体轴承和气动执行器
机译:非接触式排气系统,用于兼容真空的气体轴承导轨
机译:真空环境下环绕式气体轴承设计的动力学研究
机译:高速槽式气体轴承的有限元分析。
机译:混合电磁轴承转子系统的性能和深度学习动态特性分析的弹性箔气体轴承
机译:真空兼容型空气静压气体轴承元件的阻尼特性研究
机译:用于大气环境和真空室的气体轴承的铋铅涂层
机译:静压气体轴承,用于真空环境的静压气体轴承装置以及静压气体轴承装置的气体回收方法
机译:真空环境中的静压气体轴承,静压气体轴承装置以及静压气体轴承装置的气体回收方法
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