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反射镜基片无损伤清洗技术研究

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本文以抛光表面模型为理论,分析了基片表面损伤产生的机理,设计正交实验,得出了基片表面损伤产生的主要因素.通过改进清洗工艺,制备出了无损伤的超光滑表面.

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来源
《航空精密制造技术》 |2021年第5期|1-38|共4页
作者
张晋宽; 白满社; 滕霖;
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作者单位

航空工业西安飞行自动控制研究所西安 710065;

航空工业西安飞行自动控制研究所西安 710065;

航空工业西安飞行自动控制研究所西安 710065;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类表面处理;
关键词
无损伤清洗; 亚表面损伤; 超光滑表面; 反射镜;

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